微米级局域激光退火仪
微米级局域激光退火仪可定向修饰量子比特的频率参数，提高量子芯片的良品率，解决多比特扩展中比特频率拥挤的问题。该系统可配置高真空退火腔体和惰性气体退火腔体，实现量子芯片的真空局域退火和惰性气体氛围退火功能。该系统亦可适用于半导体芯片、材料表面改性处理等领域。
产品特点
01
比特频率修饰准确性超过95%
02
激光功率0~3W可调，功率稳定性RMS优于1%（4h内）
03
退火目标区域定位精度达百纳米级
04
系统全自动化控制，可多点一键退火，人机交互便捷
05
微米级光斑，激光功算斑形状尺寸可定制
产品参数
| 基础性能参数 | |
| 退火重复性 | 常温电阻修饰准确性超过95% |
| 激光光斑 | 直径20μm±2μm（有效退火范围），支持定制形状尺寸 |
| 激光波长 | 532nm |
| 退火时间控制 | 最短退火时间80ms |
| 激光输出功率 | 0~2.5W可调，最小调节单位0.01W |
| 大气退火 | 2-8inch；真空/惰性气体退火：2-4inch |
| 激光功率稳定性 | 功率稳定性RMS≤1%（4h内） |
| 芯片定位精度 | ±0.25μm（X/Y方向） |
| 其他参数 | |
| 动能参数 | 208~230V，50/60Hz 4kW |
| 工作温度 | 18-30℃ |
| 设备外形尺寸 | 1400mm*1400mm*1800mm（长*宽*高） |
| 相对湿度 | ＜50%，非冷凝 |
| 高真空芯片退火腔体（可选模块） | |
 | 系统真空度：1*10-4Pa（可定制更高的真空度） |
| 惰性气体芯片退火腔体（可选模块） | |
 | 工作气体：支持高纯氮气，氩气，氖气等 最大工作气压：60psi |
