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提供全方面的量子计算产品支持

本源量子围绕量子计算核心技术与产品化,构建覆盖量子计算机、云平台、芯片与测控硬件、低温系统、软件、安全与教育等方向的产品体系。您可按分类浏览产品能力与适用场景,并获取产品咨询与相关资料。

无损探针台

无损探针台是一款应用于超导量子芯片常温电参数精密测量的半自动化设备,最小测量范围至微米级。 该设备最大的特点是可以在不影响量子比特性能的情况下,实现量子比特常温电参数的测量。该设备同样适用于半导体行业的晶圆精密电参数测试。

无损探针台

产品特点

01

高稳定性、高运动精度、多自由度可控的芯片吸附载台

02

显微镜倍率可变,测试最小区域达微米级

03

探针造成的薄膜伤痕直径直接扎穿2-3μm以内

04

半自动制,人机交互便捷

产品参数

基础性能参数
产品型号NDPT-100
Z向重复定位精度1μm
测量样品尺寸4英寸及以下
z向分辨率

FULL/HALF STEP 0.5μm/0.25μm

样品固定方式真空吸附
光学方案倍率1.25X-15X
XY方向运动定位精度1μm
显微镜分辨率11.18-1.68μm
XY方向重复定位精度3μm
其他参数
动能需求

208-230V, 50/60Hz 3kW

产品尺寸1400mm*800mm*1800mm(长*宽*高)
无损探针臂(可选配件)

定位精度:1μm

扎针力度灵敏度:20μN