无损探针台
无损探针台是一款应用于超导量子芯片常温电参数精密测量的半自动化设备,最小测量范围至微米级。 该设备最大的特点是可以在不影响量子比特性能的情况下,实现量子比特常温电参数的测量。该设备同样适用于半导体行业的晶圆精密电参数测试。

产品特点
01
高稳定性、高运动精度、多自由度可控的芯片吸附载台
02
显微镜倍率可变,测试最小区域达微米级
03
探针造成的薄膜伤痕直径直接扎穿2-3μm以内
04
半自动制,人机交互便捷
产品参数
| 基础性能参数 | |
| 产品型号 | NDPT-100 |
| Z向重复定位精度 | 1μm |
| 测量样品尺寸 | 4英寸及以下 |
| z向分辨率 | FULL/HALF STEP 0.5μm/0.25μm |
| 样品固定方式 | 真空吸附 |
| 光学方案倍率 | 1.25X-15X |
| XY方向运动定位精度 | 1μm |
| 显微镜分辨率 | 11.18-1.68μm |
| XY方向重复定位精度 | 3μm |
| 其他参数 | |
| 动能需求 | 208-230V, 50/60Hz 3kW |
| 产品尺寸 | 1400mm*800mm*1800mm(长*宽*高) |
| 无损探针臂(可选配件) | |
![]() | 定位精度:1μm 扎针力度灵敏度:20μN |
